第10章真空测量范例.ppt

真 空 测 量 真空测量的研究对象 混合气体的全压力测量 由于指定空间内被测气体大多数为混合气体，真空测量应于混合气体的全压力测量。所用的真空计测量全压力 真空计的分类及测量范围 真空计的分类 真空测量的特点 测量范围宽 —真空技术的发展已可获得1.1×105 Pa直至10 -13Pa，宽达18个数量级的压力范围。不可能依靠一种测量原理和一种真空计来实现整个范围的真空度测量。不同种类的真空计对应各自不同的压力测量范围，即有不同的量程。 多为间接测量—除了压力较高的真空区域(105～10Pa)，采用压力的直接测量外，大部分低压空间气体的测量都是利用低压下气体的某些特性（如热传导、电离等）进行间接的真空度测量，对相对真空计的校准工作就显得更为重要。 采用电测技术—测量反应迅速，灵敏度高，自动化。 测量值与气体种类有关——大部分真空计的读数与被测气体的种类和相关成分有关. 测量精度不高——在间接测量压力的过程中，往往需要引进外加能量（如热能、电能、机械能、放射能等等）。由于这些外加能量的引用将不可避免产生测量误差，而稀薄气体所能产生的测量信号本身很微弱。真空计的测量精度远比其他的物理仪器的测量精度。 液体真空计—压缩式真空计 液体真空计—压缩式真空计 液体真空计—压缩式真空计 液体真空计—压缩式真空计 变形真空计 弹性变形真空计——利用弹性元件在压力差作用下产生弹性变形的原理而制成的一种直测量真空计，可以在压力为l05～l0Pa的范围内进行低真空测量。 变形真空计— 电容式薄膜规管 电容式薄膜规管—通过测量压强差引起金属薄膜的偏移，从而改变电容器电容来测量压强。 变形真空计— 电容式薄膜规管 电容输出与位移变化之间的关系 变形真空计— 电容式薄膜规管 电容式薄膜真空计的特点 热传导真空计 基本原理—气体的热传导与其压强有关 热传导真空计 热传导真空计 热传导真空计特点及类别 热传导真空计—电阻真空计（皮喇尼真空规） 结构 热传导真空计—电阻真空计（皮喇尼真空规） 工作模式（根据测量热丝电阻变化的方法不同） 热传导真空计—热偶真空计 热传导真空计—热偶真空计 热偶真空计工作特性 热传导真空计—热偶真空计 热阴极计—普通电离真空计 热阴极计—普通电离真空计 热阴极计—普通电离真空计 热阴极计—高压强电离真空计（舒茨型） 热阴极计—高压强电离真空计（舒茨型） 影响压力测量上限的因素 热阴极计—高压强电离真空计（舒茨型） 热阴极计—超高真空电离真空计（B-A型） 热阴极计—超高真空电离真空计（B-A型） 冷阴极计—潘宁放电真空规 工作原理（低压下气体分子的电离电流与压力有关的特性） 分压力真空计 分压力真空计—磁偏转型分压计 分压力真空计—四极质谱计 电离真空计 冷阴极电离真空计的优缺点（热阴极电离真空计相比） 规管占用的体积大（冷规管必须具备磁铁）； 去气操作不便（因磁场不能承受高温烘烤去气，需取下磁铁）； 无法将其放人大容器内部代替裸规快速测定各部分的压力，得空间的压力分布（由于磁铁的存在）。 优点： 冷阴极消除因为高温灯丝而产生的化学清除作用，真空计的读数不受影响； 不需要对热丝电子发射和控制，简化了仪器的结构； 被测容器发生意外漏气时冷规管不存在被烧毁的危险； 冷规管可避免被真空系统内部的化学活性气体所毒化或破坏，使用寿命长； 冷规管灵敏度比普通型电离规管灵敏度高1个数量级； 冷规管结构与控制线路均较简单，易于制作。 缺点： 分压力真空计（要求准确测量气体的全压力，还希望对真空容器内残余气体的成分进行分析，了解气体的纯度，掌握气体中各种组分气体所占份额） 直接测量真空中混合气体组分和相应的分压力值 仪器：残余气体分析仪或分压力真空计。 由分压力真空计测得的混合气体各组分分压力之和为全压 分压力测量或残余气体分析的过程 (真空质谱计) 作为分压力真空计或残余气体分析器的真空质谱计都属于电离类型的， 按原子离子或分子离子的荷质比进行分析，其分析过程可分为三个阶段： 在离子源中用电子碰撞的方法将气体电离。 在质量分析器中，将离子按荷质比不同进行分离； 检测器（或离子收集极）接收分离的离子，放大，依次显示出离子流强度； 使用磁场的磁偏转型分压计：磁偏转型分压强计大而重，漏磁也是个问题，但定量分析的可靠性高；如磁偏转型分压计 不用磁场的|分压强计：不用磁场的分压强计通常做得轻而小，分析速度也快，且无漏磁问题，但定量分析精度往往差一些； 如四极质谱计 分压强真空计种类 * 绝对真空计和相对真空计 绝对真空计：从其本身测得的压强物理量中直接算出气体的压力值 相对真空计：通过与气体压力有关的物理量以间接的方法反映所测的气体压力值 相对真空计必须绝对真空计的校准才能准确地对真空度进行测量 真空计或真空规 真空技术中习惯以各向同