扩散炉培训重点分析.pptVIP

1.进舟时保证净化风机开启。 2.温控仪没有工艺人员允许严禁乱调。 3.控制柜面板上的“消声”按钮是当系统出现故障，发出声光报警后，按下它，蜂鸣器便不再发声；但此时并不表示故障已经解除，必须在排除故障后将其松开。正常运行时，保证消声按钮是弹起的。 4.急停按钮是当进、出舟过程中出现意外时，手动停止用的，在正常工艺时，请注意保持该按钮不要按下。 1.26使用中的注意事项 扩散—太阳能电池制造核心工序 5. 桨的位置调好后，基座上下、前后以及端头的俯仰调节螺钉均不得再随意调动，否则在进出舟过程中极易造成石英挡板以及硅片的损坏，严重的还会直接损坏石英管和桨。 6.石英炉门与桨的接触部位请定期进行清洗，防止由于工艺残留物堆积使得滑动不畅造成石英门损坏。运行工艺时必须摇动挡板。 7.主送气管道在清洗石英管接入设备之前应先排空，通入纯净高压气体吹洗干净，否则管道内的不洁净物质会引起气动阀关闭不密封以及造成过滤器和质量流量控制器的堵塞及损坏。 1.27使用中的注意事项 扩散—太阳能电池制造核心工序 8.压缩空气、 高纯N2 、高纯O2等各种气体进气压力设定值（气源柜减压阀表读数）均应调在0.3～0.4Mpa 之内，太小会使得气动阀难以开启以及质量流量控制器流量显示不稳定，太大则有可能损坏过滤器及质量流量控制器。 9. POCL3扩散源具有极强的腐蚀性，如果磷源洒在了恒温槽