XPS分析原理概要.ppt

X射线光电子谱(XPS)X-ray Photoelectron Spectroscopy 引言 X射线光电子谱是重要的表面分析技术之一。它不仅能探测表面的化学组成，而且可以确定各元素的化学状态，因此，在化学、材料科学及表面科学中得以广泛地应用。 引言 X射线光电子能谱是瑞典Uppsala(乌普萨拉）大学K.Siegbahn（西格巴恩，1924年获诺贝尔物理学奖。也表示X射线波长单位，10-15m）及其同事经过近20年的潜心研究而建立的一种分析方法。他们发现了内层电子结合能的位移现象，解决了电子能量分析等技术问题，测定了元素周期表中各元素轨道结合能，并成功地应用于许多实际的化学体系。 引言 西格巴恩给这种谱仪取名为化学分析电子能谱(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)，简称为“ESCA”，这一称谓仍在分析领域内广泛使用。 随着科学技术的发展，XPS也在不断地完善。目前，已开发出的小面积X射线光电子能谱，大大提高了XPS的空间分辨能力。 XPS理论依据-光电效应 根据Einstein的能量关系式有： h? = EB + EK 其中? 为光子的频率，EB 是内层电子的轨道结合能，EK 是被入射光子所激发出的光电子的动能。实际的X射线光电子能谱仪中的能量关系较复杂。由真空能级算起的结合能： ?SP和?S分别是谱仪和样品的功函数 。 由费米能级算起的结合能： XPS测定原理 用具有特征波长的软X射线（常用Mg K? 1253.6 eV或Al K? 1486.6 eV）照射固体样品，然后按动能收集从样品发射出的光电子，给出光电子能谱图，通常横坐标为结合能（也可以是动能，因h? = EB + EK ），纵坐标为相应的光电子计数/秒。 注：波长1nm左右的一般称软X射线。E(eV)=1240/λ(nm) 上述软X射线一般穿透距离大于1μm，在该射线路经途中通过光电效应使固体中的原子发射出光电子。这些电子在穿越固体向真空发射过程中，要经历一系列弹性和非弹性碰撞导致动能损失，因此只有表层很短距离（约20?）的光电子才能逃逸出来，这一本质决定XPS法适用于表面分析。 软X射线能电离出原子的内层电子，而这些内层电子的能量是高度特征性的，因此XPS法可以进行元素分析(可以分析具有内层电子的所有元素，即氢、氦除外）。 由于原子内层电子的能量与该原子所处的化学环境有关，使能量产生“化学位移”，因此XPS法可以进行元素化学态分析。 XPS中的俄歇（Auger）电子发射 在光电离过程中，除了发射光电子外，还会通过驰豫（去激发）过程发射俄歇（Auger）电子（由法国科学家P.-V. Auger 发现），而产生Auger电子峰。由于光电子的动能与入射光子能量有关，而Auger电子的动能与入射光子能量无关，因此可以通过改变入射光子能量可以区别光电子峰和Auger电子峰。 Auger电子的动能等于初始单电荷离子能量与终态双电荷离子能量之差。 X射线光电子谱仪结构 X射线源是用于产生具有一定能量的X射线的装置，在目前的商品仪器中，一般以Al/Mg双阳极X射线源最为常见。 XPS激发光源（要求强度大、单色性好） XPS激发光源 将X射线用石英晶体的(1010)面沿Bragg反射方向衍射后便可使X射线单色化。X射线的单色性越高，谱仪的能量分辨率也越高。 除在一般的分析中人们所经常使用的Al/Mg双阳极X射线源外，人们为某些特殊的研究目的，还经常选用一些其他阳极材料作为激发源。 半峰高宽是评定某种X射线单色性好坏的一个重要指标。 XPS激发光源 突然近似 体系受激出射光电子后，原稳定的电子结构受到破坏，这时体系处于何种状态、如何求解状态波函数及本征值遇到了很大的理论处理困难。突然近似认为，电离后的体系同电离前相比，除了某一轨道被打出一个电子外，其余轨道电子的运动状态不发生变化而处于某一种“冻结状态”。 绝热近似 实测的XPS谱是同电离体系的终态密切相关的，Koopmans定理所假设的离子轨道冻结状态是不存在的。 绝热近似认为，电子从内壳层出射，结果使原来体系的平衡势场破坏，离子处于激发态。这时轨道电子结构将作出调整，电子轨道半径会出现收缩或膨涨，这一过程叫“电子弛豫”。 绝热近似 弛豫的结果使离子回到基态，释放出弛豫能Erelax。因弛豫过程与光电子发射同时进行，所以加速了光电子的发射，提高了光电子动能。因此有 其中：EBad 表示按绝热近似求得的结合能。 绝热近似 Hartree-Fock自洽场方法忽略了相对论效