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2016-11-24 发布于山西
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A 3D Micromixer Fabrication With Dry Film Resist

PME5230 A 3D Micromixer Fabrication With Dry Film Resist Advisor：Cheng-Hsien Liu Reporter：Yu-Sheng Lin Date：2007/04/18 Outline Introduction Fabrication Micro-mixer design Results Conclusions Introduction Fabrication Micro-mixer Design Compare of wet etching and RIE Results Microscopic images during process Conclusions A technique utilizing by dry film resist to build 3D microstructures with 6 layers patterned has been developed. Dry film resist is available in bio-compatible format. Future work will focus on building MEMS devices for biosensing applications. Thank you for your attention ! Woodpile structure * * A.D. Radadia1, L. Cao1, H.K. Jeong1, M.A. Shannon2, R.I. Masel1 1Department of Chemical and Biomolecular Engineering, 2Department of Mechanical Science and Engineering, University of Illinois at Urbana-Champaign, USA MEMS 2007 pp.361~364 DFR：Dry Film Resist 6 layers Microscopic images of (a) 4 patterned layers (b) 6 patterned layers and a cap layer 3 layers