等离子清洁作业方法.docxVIP

SPECIFICATIONSPEC NO.FSW2009REVISION08TITLE等离子清洁作业方法Strip Plasma Cleaning Operation MethodTYPE REV. NO.DATEORIGINATORREVISION HISTORYCHANGE REASON012011.02.10Amy WangDraft022011.03.16Li Minghua更改2 scope,增加auto TO263-7LTO252-5L plasma清洁要求032011.04.15Li Minghua增加plasma作业记录本中不良的中文描述042011.12.22Bond Zhou增加SPM45_PFCM plasma清洁要求052012.01.06Bond Zhou增加SPM45_PFCM Plasma工序程序自动检测扫描系统062012.06.13Bond Zhou更新SPM45_PFCM以及Discrete产品抽检频率增加TO263 Low Rdson新产品减少不必要的抽检，防止频繁抽检人为造成Wire破损及增加TO263 Low Rdson新产品072012.08.29Zhang Yu更新discrete材料发生Jam时全检的方式当前Discrete全检的方式不明确082012.10.11ZhangYu1.添加发生Jamming时的不良图片2.更新SC