10第四章第一节液晶显示技术概念.ppt

阵列工程 就是在玻璃基板上有规则地排列薄膜晶体管，也就是整齐排列，所以称为阵列工程。它的别名叫基板工程或阵列基板工程。本工程是对玻璃基板进行加工形成像素电极、数据信号电极、回路元件(薄膜晶体管)，将各电极做到玻璃基板上的工程。本工程是制作薄膜晶体管，所以与制造半导体器件的半导体制造工程类似。 TFT—LCD的基本的剖面结构(参照图(a)) ①在玻璃基板上用钼钽(MoTa)制作栅极。 ②在栅电极上用氧化硅(SiOx)、氮化硅(SiNx)形成栅极绝缘膜； ③在其上形成半导体有源层即非晶硅层(amorphous silicon简称a—Si：非晶硅)。 ④为减少接触电阻设计了掺入n+杂质的a—Si层 ⑤用铝等金属形成漏电极、源电极。采用该漏电极接数据信号线、源电极接像素电极(或IT0像素电极)的方式。 ⑥设置氮化硅膜等保护膜，用以保护a—Si层和漏、源电极等。 制盒工程 也叫做盒工程。本工程是把前面制出的阵列基板和彩膜的基板(称为彩膜基板)，经表面处理后，将两者贴合组装，在这两枚基板组合的间隙(称为盒厚：Gap)注入液晶材料，然后再进行封装的工程。在这里把完成的阵列基板和CF基板组装物称为阵列·盒基板或叫液晶屏。 模块工程 别名也叫组装工程．本工程是安装能够电控阵列、液晶屏的驱动电路的工程。而且，也是安装背光源等电子部件和材料的工程。 ACF 最终检查 老化 * * * Theory:to