機械工程系所精密製造實驗室穿透式電子顯微鏡.pptVIP

102年12月24日 機械工程系所 精密製造實驗室 1/4 Transmission electron microscope(TEM) 穿透式電子顯微鏡 授課老師：朱志良 教授 班級：碩研二甲 學號：MA110119 姓名：鄧文斌 穿透式電子顯微鏡（英語：Transmission electron microscope，縮寫TEM），簡稱透射電鏡，經加速和聚集的電子束投射到非常薄的樣品上，電子與樣品中的原子碰撞而改變方向，從而產生立體角散射。散射角的大小與樣品的密度、厚度相關，因此可以形成明暗不同的影像，影像將在放大、聚焦後在成像器件（如螢光屏、膠片、以及感光耦合組件）上顯示出來。 TEM介紹及應用 2/4 TEM不僅可觀察晶體中及其經加工、熱處理後的 差排結構，而且能直接觀測到次晶形成、角隅 化、再結晶、潛變、多相晶體中差排與析出物交 互作用等與物質機械性質有密切關係的許多現象。 TEM基本構造 3/4 穿透式電子顯微鏡是利用高能電子束（一般約在100keV~1MeV）穿透厚度低於100nm 以下之薄樣品，和薄樣品內的各種組織產生不同程度之散射。散射後的電子以不同的行徑 通過後續的透鏡組合和透鏡光圈，形成明暗對比之影像，而這些明暗對比之微結構影像是 藉由螢光板來呈現。 TEM做動原理(成像機制) 4/4 TEM成像機制?穿透式電子顯微鏡如同光學顯微鏡， 如圖所示，用來放大微小