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多晶硅生产尾气中硅烷含量的测定 气相色谱法 （讨论稿） 编制说明 内蒙古神舟硅业有限责任公司 2016-08-10 多晶硅生产尾气中硅烷含量的测定 气相色谱法 （讨论稿） 编制说明 一、工作简况 1 项目背景和立项意义 最近几年由于国内外大型多晶硅生产企业的不断扩产，使多晶硅由过去的暴利阶段进入了品质和成本的竞争阶段，硅烷法生产多晶硅因其分解温度低、能耗低、成本低、无污染等特点，已经引起了越来越多的多晶硅生产企业的关注并已被成功应用，不论是国外大的多晶硅生产厂家的成熟的发展案例还是目前国内硅烷法生产多晶硅的逐步发展的趋势，这些都表明硅烷法是未来多晶硅产业技术提升与发展的主要方向。