基于MEMS壓力传感器的十轴个人导航仪.docxVIP

基于MEMS压力传感器的个人导航仪文章出处：意法半导体 发布时间： 2011/09/04 | 1042 次阅读 | 0次推荐 |? HYPERLINK /data/html/2011-9-4/97662.html \l guest 0条留言????压力 HYPERLINK /product/file471.html \t _blank 传感器?是指将压力转换为电信号输出的传感器。 HYPERLINK /product/searchfile/1030.html \t _blank 压力传感器一般由弹性敏感元件和位移敏感元件（或应变计）组成。弹性敏感元件的作用是使被测压力作用于某个面积上并转换为位移或应变，然后由位移敏感元件或应变计转换为与压力成一定关系的电信号。有时把这两种元件的功能集于一体。压力传感器广泛应用于各种工业自控环境，涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业。　　力学传感器的种类繁多，但常用的压力传感器有 HYPERLINK /product/searchfile/294.html \t _blank 电阻应变片压力传感器、半导体应变片压力传感器、压阻式压力传感器、电感式压力传感器、电容式压力传感器、谐振式压力传感器及电容式加速度传感器等。应用最为广泛的是压阻式压力传感器，它具有极低的价格和较高的精度以及较好