基于MEMS技術的热导池检测器在变压器油中气体监测系统的应用研究.docVIP

———————————————— 基金项目：国家自然科学基金资助项目 作者简介：黄德祥（1978－），男，海南儋州人，中南大学硕士研究生，研究方向为传感器电子学，E-Mail:tfirst@163.com 基于MEMS技术的热导池检测器在变压器油中气体监测系统的应用研究 黄德祥1，2，曹建1，2，王会海1，2，丁家峰1，2 (1．中南大学物理科学与技术学院，湖南 长沙 410083； 2．华电云通电力技术有限公司研发部，湖南 长沙 410007) [摘要] 基于MEMS技术设计的热导池检测器具有重量轻、体积小、成本低、灵敏度高等特点。本文首先介绍了用于变压器油中气体监测的色谱分析技术及存在的不足，分析了热导池检测器的工作原理和MEMS技术的特点，在此基础上根据实际的需求，设计了一个由基于MEMS技术的TCD构成的变压器油中气体在线监测系统，实验表明，该系统灵敏度、稳定性等均达到了现场检测的需求，能够应用于工业现场。 [关键词] 色谱技术；微机电系统；热导池检测器；变压器 [中图分类号] TP274+.5 [文献标识码] A Application study of thermal conductivity detector based on MEMS for the gas monitoring system of transfor