激光位移計CCD的工作原理与应用.docVIP

PAGE 1 激光位移计-CCD的工作原理与应用 CCD（Charge Coupled Devices）电荷耦合器件，是70年代初发展起来的新型半导体器件。它由美国贝尔实验室的W. S. Boyle和G. E. Smith于1970年首先提出，在经历了一段时间的研究之后，建立了以一维势阱模型为基础的非稳态CCD基本理论。几十年来，CCD的研究取得了惊人的进展，特别是在像感器应用方面发展迅速，已成为现代光电子学和现代测试技术中最活跃，最富有成果的新兴领域之一。 实验目的 1、了解二相线阵CCD的基本工作原理 2、了解二相线阵CCD驱动信号时序 3、了解线阵CCD在位移测量中的应用方法 实验仪器 CCD激光位移计 数字示波器 准备好坐标纸、铅笔和直尺，也可用相机。 实验原理 CCD的基本结构 电荷耦合器件的突出特点是以电荷作为信号，而不同于其它大多数器件是以电流或者电压为信号。CCD的基本功能是电荷的产生、储存和转移。 一个完整的CCD器件由像敏单元、转移栅、模拟转移寄存器及一些辅助输入、输出电路组成。 像敏单元MOS的结构和感光工作原理 构成CCD的基本单元是像敏单元，其结构如图1所示，常称为MOS结构。在栅极G施加正偏压之前（此时小于P型半导体的阈值电压），P型半导体中的空穴是均匀分布的。当栅极施加正向偏压后，空穴被排斥，产生耗尽区。当时，半导体与绝缘体界面上的电势将变得如此之