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无油涡旋真空泵技术的发展与应用 ?? 宁宪宁 一.无油涡旋真空泵技术的来源与现状 ????? 从无油涡旋真空泵产品1980年代末在市场上出现到现在为止，已经近20年了。而对这种泵的研究和开发，则远不止20年。由于这种泵具有普通油旋片泵不可比拟的优点，也有很大的技术难度，所以其核心技术至今掌握在世界一流的真空科学与技术专家的手中，也只有世界顶尖的真空获得设备生产厂家能够生产。目前世界上商业化生产与销售无油涡旋真空泵的公司主要有Anest Iwata、Varian、Edwards、Busch和我们沈阳纪维应用技术有限公司。 ????? 实际上将涡旋抽气技术应用于真空泵产品是涡旋压缩机技术带给人们的启示。在上个世纪70年代半导体、航空航天、食品、医药、科学仪器等行业对清洁真空环境的需要，以及能源的紧缺，催生了对无油真空获得设备的研发。多级罗茨泵、螺杆泵、爪式真空泵、柱塞式真空泵、罗茨与爪泵复合式真空泵和无油涡旋真空泵的研发都有开展。在替代普通油旋片泵方面，无油涡旋真空泵以其抽气过程全无油、低能耗、低噪音、气体压缩连续进行使力矩与压力波动很小并且容易控制、单级可以分成3～4个腔体使压缩比大这样的特点，发展迅速，成为粗真空阶段小型无油真空泵的主流产品。但是以涡旋压缩机技术为基础的无油涡旋真空泵技术面临着涡线形式的选择、涡旋盘参数优化与涡旋线的修正、涡旋盘尤其是双侧动涡旋盘的加工与检测、涡旋盘