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轉子悬浮式微静电电机的检测电路设计
· PAGE 74 · 电子测量与仪器学报 2009年
第7期 转子悬浮式微静电电机的检测电路设计 · PAGE 77 ·
第23卷 第7期 电子测量与仪器学报 Vol. 23 No. 7
2009年7月 JOURNAL OF ELECTRONIC MEASUREMENT AND INSTRUMENT · PAGE 73 ·
本文于2009年6月收到。
*基金项目: 863计划(编号: 2008AA04Z312)资助项目; 国家自然科学基金(编号:资助项目。
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转子悬浮式微静电电机的检测电路设计*
陈 喆 韩丰田
(清华大学精密仪器及机械学系, 北京 100084)
摘 要: 静电悬浮电机通过可控的静电力将转子无接触地悬浮起来, 具有极高的工作寿命, 可用作力平衡式三轴加速度计或双轴角速率陀螺。研制的转子静电悬浮式微电机采用差动电容式微位移传感器来精确检环形转子在电极腔内的运动, 然后借助于悬浮控制系统来实现转子的五自由度有源静电悬浮。文中介绍了基于公共激励电极方案的微位移检测电路, 并进行了设计仿真和实验测试。仿真分析和实验测试表明, 设计的电容式位移检测电路可用于MEMS微静电悬浮电机的悬浮控制系统。
关键词: 微位移检测;静电悬浮电机;差动电容传感器;微机电系统
中图分类号: TH133.3; U666.12 文献标识码: A 国家标准学科分类代码: 460.4099
Electronic interface design for electrostatic micromotor with levitated rotor
Chen Zhe Han Fengtian
(Department of Precision Instrument and Mechanology, Tsinghua University, Beijing 100084, China)
Abstract: Micromotors with the electrostatically levitated rotor in electrode cavity behave long duration of operation, and can be used as a dual-axis gyro or a force-balanced tri-axis accelerometer. The position of the rotor in those electrostatic levitation-based micromotors is usually detected by sensing the differential rotor-electrode capacitance and further fed back to multi-axis active levitation control loop with an aim to keep stable suspension of the rotor. In this paper, theoretical analysis and experimental data of a capacitive position sensing interface based on common excitation-electrode scheme is presented for an electrostatic levitation-based micromotor. The simulation and experimental performance indicate that the proposed capacitive interface circuit can be used to achieve multi-axis electrostatic suspension of the rotor for such micromotors fabricated by MEMS technology.
Keywords: capacitive position sensing; electrostatic levitation; differential capacitance sensor; MEMS
1 引 言
静电电机不使用磁铁, 不需要线圈, 结构简单, 容易实现微型化。随着MEMS加工工艺逐渐成熟, 解决了静电电机的机械加工精度问题, 同时转子与定子的间隙大大缩小, 使得工作电压得以大幅度降低。与其他类型的微型电机相比, 静电电机具有与IC工艺兼容、转速高、控
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