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进炉前准备 (1)、真空泵检查 ①、每次开始生产前，派 1 个人前往泵房检查真空泵的水、电连接，确保无误。 ②、观察罗茨泵和真空泵的油位，确保油位在 Min 与 Max 之间，视窗油位在 1/3 至1/2的位置。 (2)、压缩空气、氩气 压缩空气压强要求大于 5bar，其压强变化不能在 60 秒内有 1bar 的变动。 氩气压强要求 4－6bar，顶底流量为 1000~1050mL/min。 (3)、冷却水 要求进水温度在 31±0.2℃，进水压强 5.0-6.0Bar。多晶炉各个部位的水流量要求如下： 炉盖≥40L/min；炉膛≥40L/min；冷却板≥90L/min；盲法兰≥10L/min； 水温表 顶部加热器≥15L/min；底部加热器≥15L/min。 冷却水出水压力在 1.0-2bar (4)、电控柜 ①、确认电控柜是否已合闸，包括电控柜内主闸及门上的开关，并将电控柜门锁上。 ②、确认变压器盖板及加热器套盒已盖好。 (5)、投炉前点检 检查《多晶炉铸锭点检表》各项，作投炉前点检工作。 多晶炉室清扫 顶底高温计玻璃片：用无尘纸吸取无水乙醇轻擦，直至玻璃片上无污点 炉盖上残留真空脂 ：无尘纸吸取无水乙醇擦 炉体密封圈 ：先用无尘纸吸取无水乙醇擦一次，涂上真空脂，用无尘纸吸取无水乙醇再擦一次 炉盖顶板的下板及炉膛上沿黄、白色氧