o湿度传感器原理与应用.pptVIP

陶瓷型湿度传感器 材料： 金属氧化物 特性： 具有感湿特性 电阻率随湿度下降 RH/% R/Ω 108 107 106 105 104 103 0 20 40 60 80 100 Fe3O4的例子 陶瓷型湿度传感器结构:薄膜型 基片 梳状电极 引线 感湿膜 陶瓷型湿度传感器结构:体型 基片 梳状电极 引线 感湿膜 MOSFET湿敏器件 感湿膜 D S G n n P 水汽 H+ 扩散到删电极附近 影响阈值电压 改变源漏电流 8.2.4 应用:电阻型 R1 R3 RH - + E～ R2 分压: A Vout 放大: 注意: (1)RH≈R2 (2)运放输入阻抗RH (3)交流供电 小结 (1)湿度传感器:定义及作用 (2)饱和水蒸气压,水蒸气分压,绝对湿度,相对湿度,露点 (3)湿度传感器两大类:电阻,电容 8.2 半导体湿度传感器 什么是湿度:空气中水蒸气含量多少的物理量 与我们密切相关： 农业:大棚, 蘑菇 工业: 电子工艺, 纺织 物资存储:粮食,文物图书 生活：舒适 40％－ 70％ 健康：干燥 呼吸道疾病 潮湿 关节炎 应用: 半导体净化车间 应用: 温室 应用: 气象 玉山 应用: 文物保护: 敦煌 应用: 健康 玉山 温度℃ 水饱和蒸汽压(pa) -2