a真空系统中常用材料和真空卫生.pptVIP

B非蒸散型吸气剂 是体积型的吸气剂（图层型），主要由IVB族过渡元素锆、钛、钍、钼等及合金组成。它们又分为单质体积型、合金体积型、大比表面机型3种。适于应用在不能使用蒸散型钡膜吸气剂的场合 单质型包括锆、钛、钽等物质，把它们做成线。挑粪状放于器件的栅、阳极等处高温吸气（一般工作温度为600℃）但是在低温下它们不吸气. 合金型包括锆铝、锆硅、锆镍、锆石墨、锆钛等吸气剂，它们具有体效应吸气特性。 吸附剂 吸附剂与吸气剂相反，它是在低温下具有良好的吸气性能，温度升高时要解吸放气。这类吸附剂常用于冷吸附泵、阱用物理吸附剂。常用的有：活性炭、活性氧化铝、硅胶、分子筛等。 A分子筛 是一种人工合成的吸附剂，其原粉一般为白色晶体粉末。其粒度范围为1~10um。分子筛内部含有大量的水分。当加热到一定温度脱出水分后，其晶体结构保持不变，同时形成许多与外部相通的均匀的微孔。当气体分子直径比此微孔孔径小时，可以进入孔的内部，从而使某些分子大小不同的物质分开，起到筛分的作用，所以称之为分子筛。 B硅胶 是一种无毒、无臭、无腐蚀性的多孔结晶体物质，不溶于水，可用于苛性钠溶液。硅胶的孔隙率可达到70%，平均孔径为4×10-7cm，平均密度约为650kg/m3，吸湿能力可达其质量的30%，硅胶又有原色硅胶和变色硅胶之分。变色硅胶吸湿后其颜色将变成红色，由于价格比原色硅胶高，因此用它作原色硅胶吸湿指