10.8T超纯水设备方案.docVIP

京东方光科技有限公司 10.8T/H 二级反渗透+EDI+抛光混床 超纯水系统及废水回收系统 设 备 方 案 书 京东方光科技有限公司 T-Module项目组 目 录 一、技术规范 1 1、设计要求 1 2、设计依据 2 3、系统对外界要求 2 4、工艺流程描述 3 二、系统及设备技术要求 4 1、各主体设备的技术要求 4 1.1、预处理部分 4 （1）原水储槽 4 （2）原水泵 4 （3）石英砂过滤器 4 （4）活性炭过滤器 5 （5）过滤水储槽 7 （6）RO保安过滤器 7 1.2、RO脱盐部分 7 （1）高压泵 7 （2）反渗透装置 8 1.3、EDI脱盐部分 10 （1）全自动电离子再生除盐装置 10 1.4、精致过滤器部分 10 （1）TOC脱除器 10 （2）精致过滤器装置 10 （3）0.2μm微孔膜滤器 10 （3）0.1μm微孔膜滤器 11 1.5、回水部分 11 （1）UV杀菌器 11 1.6、废水回收部分 11 （1）废水箱 11 （2）UF进水 11 （3）超滤装置 11 三、技术资料及工程质量 11 1、技术文件资料 11 2、设备监造检查所需要的技术资料 12 四、仪表与控制系统 12 1、控制系统说明 12 2、自动控制系统 12 3、主要控制回路 13 （1）预处理过滤器的控制 13 （2）超滤系统的控制 14