PSS10Ⅱ分類检测操作规程.doc

目的 确保PSS10Ⅱ分类检测处于良好的运行状态。 适用范围 PSS10Ⅱ分类检测操作及保养。 职责 3.1工厂工程部负责本指导书的编写和修改，设备的定期维护、保养及维修。 3.2技术部负责生产工艺参数的调整及确认。 3.3生产部负责设备的使用和日常的清洁工作。 术语和定义Auto）（图三）状态。 5.7根据生产不同的硅片，调用相应型号的工艺文件。如：125硅片为“Test125X125.dat”。 5.8再按下Cycle reset按钮（图四）使机器复位(其灯一直闪烁，直到复位结束)。 5.9Cycle Start按钮（图三）指示灯闪烁，提示复位结束；等待Berger测试系统能正常工作后，按下Cycle Start按钮进行生产。 图三 图四 Berger测试系统开机 6.1按下Berger 计算机和显示器电源按钮。 6.2旋开氙灯电源箱红色停机按钮（图五），按下电源绿色启动按钮（图五）。 图五 6.3Berger计算机系统启动后, 双击运行SCLoad测试程序。 6.4确认分类文件，校正光强（参见9校正光强）后即可自动运行。 Flash 使光强功率在950~1050W之间,尽量接近1000W。 6.5.2分类文件中必须有一个类别为TRASH, 其不需设任何条件,但需分配一个分检盒。 关机 7.1确定行走臂上的片子走完，按下Cycle Stop按钮（图六），设备停止运行。 7.2退出 SCLoad 程序。 7.3关闭Berger计算机系统和显示器电源。 7.4关闭测试灯电源，直接将红色停机按钮按下(图五)。 7.5按下面板上红色急停按钮（图七）。 图六 图七 图八 7.6关闭黑色电源开关（图八），设备内的UPS系统会自动协作保存数据并关闭程序和计算机。 7.7关闭真空和压缩空气（图九）手动阀。 图九 分类文件的建立和修改 8.1在SCLoad 软件菜单中选择Settings -----Operating Mode…(图十一)。 图十一 8.2在Operating Mode 中选择Manager 后点击OK(图十二)。 图十二 图十三 8.3在Password 中不需输任何内容，直接点击OK(图十三)进入Manager级别。 8.4在菜单Settings 中选择 Classification ----- New …(图十四)。 图十四 8.5点击 是（Y）按扭创建新的分类文件(图十五)。 8.6输入新分类文件名，点击保存(图十六)。 图十五 图十六 8.7在分类文件的Class 项目中点击 Add , 根据要求输入分类档次（Class）的名称，其中一个档次必须为垃圾档 （TRASH），并给每个档次分配一个存放盒（Bins，16个分检盒中的一个）(图十七)。 图十七 8.8在 Criteria 项目中点击 Add , 根据要求选择分类标准（Criteria ），并输入每个标准的范围（Min 和 Max ） 。注意：垃圾档（TRASH）不允许输入任何标准。所有项目输入完成后必须保存（Save）(图十八)。 图十八 8.9修改分类文件：前面三步和创建新分类文件相同，只是在第四步（9. 4）中选择菜单Settings中 Classification 的子菜单Edit (图十四)。根据需要修改后，保存文件即可。 校正光强 9.1将Baccini 机停机并选择为手动模式（Man），注意：此时行走臂应在低位（Down）。 9.2手动将标准电池片放入测试台上，并确保主栅线和探针在同一直线上。 9.3在Baccini程序菜单 4 - Axis 中选择 42 - Elmo Axis Manual。 9.4在Axis Selected 中选择 14MG Probe Up/Down Axis ，在Step Off