8-第5章压电传感器.ppt

5.3 等效电路与测量电路 并联方法两片压电晶片的负电荷集中在中间电极上，正电荷集中在两侧的电极上，传感器的电容量大、输出电荷量大、时间常数也大，故这种传感器适用于测量缓变信号及电荷量输出信号。 串联方法正电荷集中于上极板，负电荷集中于下极板，传感器本身的电容量小、响应快、输出电压大，故这种传感器适用于测量以电压作输出的信号和频率较高的信号。 5.3.1 压电传感器的等效电路 当压电晶体承受应力作用时，在它的两个极面上出现极性相反但电量相等的电荷。故可把压电传感器看成一个静电荷发生器，压电元件在这个过程可看成一个电容器，其电容量为： 当需要压电元件输出电荷时，可以把压电元件等效为一个电荷源与一个电容并联的电荷等效电路。 当需要压电元件输出电压时，可以把它等效成一个电压源与一个电容串连的电压等效电路。 5.3.2 压电式传感器的测量电路 压电晶片的连接方式 在实际应用中，由于单片的输出电荷很小，因此，组成压电式传感器的晶片不止一片，常常将两片或两片以上的晶片粘结在一起。粘结的方法有两种，即并联和串联。 (a)并联 + + － － － + 电容量 (b)串联 + － － + 压电元件连接方式 (a) 并联； (b) 串连 图6-7 压电元件的等效电路 （a） 电压源; （b） 电荷源 实际使用时，压电传感器输出信号通过电缆送入前置放大器放大，通过导线与测量仪器相连接，电缆的等效电容CC、前置放大器的输入电阻Ri、输入电容Ci，及传感器的泄漏电阻Ra对电路的影响就必须一起考虑进去。压电传感器完整的等效电路可表示成（a）电压等效电路和（b）电荷等效电路，这两种等效电路是完全等效的。 压电传感器的实际等效电路 （a） 电压源; （b） 电荷源 由于压电式传感器的输出电信号很微弱，内阻极高，通常先把传感器信号先输入到高输入阻抗的前置放大器中，其输出信号方可用一般的放大检波电路再将信号输入到指示仪表或记录器中。(其中，测量电路的关键在于高阻抗输入的前置放大器。） 前置放大器的作用：一是将传感器的高阻抗输出变换为低阻抗输出；二是放大传感器输出的微弱电信号。 前置放大器电路有两种形式：一是用电阻反馈的电压放大器，其输出电压与输入电压(即传感器的输出)成正比；另一种是用带电容板反馈的电荷放大器，其输出电压与输入电荷成正比。 1. 电压放大器 压电传感器接放大器的等效电路  （a） 放大器电路; （b） 等效电路 在图中，电阻R=RaRi/(Ra+Ri),电容C=Cc+Ci，而Ua=q/Ca，若压电元件受正弦力F=Fm sinωt的作用，则其电压为 式中： Um——压电元件输出电压幅值， Um=dFm/Ca；  d——压电系数。 由此可得放大器输入端电压Usr，其复数形式为 . (5-5) Usr的幅值Usrm为 . (5-6) 输入电压和作用力之间相位差为 (5-7) 在理想情况下，传感器的Ra电阻值与前置放大器输入电阻Ri都为无限大，即ω(Ca+Cc+Ci)R1，那么由式（5-6）可知，理想情况下输入电压幅值Usrm为 表明前置放大器输入电压Usrm与作用力的频率无关，一般在ω/ω03时，就可以认为Usrm与ω无关，ω0表示测量电路时间常数之倒数，即 这表明压电传感器有很好的高频响应，但是，当作用于压电元件的力为静态力（ω=0）时， 前置放大器的输出电压等于零， 因为电荷会通过放大器输入电阻和传感器本身漏电阻漏掉， 所以压电传感器不能用于静态力的测量。 当ω(Ca+Cc+Ci)R1 时，放大器输入电压Usrm表达式中Cc为连接电缆电容，当电缆长度改变时，Cc也将改变，因而Usrm也随之变化。因此，压电传感器与前置放大器之间连接电缆不能随意更换， 否则将引入测量误差。 2. 电荷放大器 电荷放大器是一个具有反馈电容的高增益运算放大器。 Usr Usc 电荷放大器常作为压电传感器的输入电路，由一个反馈电容Cf和高增益运算放大器构成。由于运算放大器输入阻抗极高， 放大器输入端几乎没有分流，故可略去Ra和Ri并联电阻。 由式（5-11）可见，电荷放大器的输出电压usc只取决于输入电荷与反馈电容Cf，与电缆电容Cc无关，且与q成正比，因此，采用电荷放大器时，即使连接电缆长度在百米以上，其灵敏度也无明显变化，这是电荷放大器的最大特点。 为了得到必要的测量精度，要求反馈电容Cf的温度和时间稳定性都很好，在实际电路中，Cf的容量做成可选择的，范围一般为100~104pF。 下图是一种压电式加速度传感器的结构图。它主要由压电元件、质量块、预压弹簧、基座及外壳等组