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单靶镀膜工艺操作规程 编 号 ZHKJ--1 第 A 版 第 0 次修改 山东中恒科技有限公司 第 1 页 共 4 页 适用范围 本规程规定了单靶镀膜操作的技术要求和操作步骤。 技术要求 2.1铝靶的直径≥60mm； 2.2压缩空气的压强应达到0.4～0.6Mpa.4～0.6Mpa,分别打开氩气、氮气的总阀。 3.2开机 3.2.1开启本机电源。 3.2.2将机箱控制面板上的电源开关置于“开”的位置，手动状态下，打开“机械泵”，延时1分钟后，压差阀自动打开，按下“前级阀”按钮，当电离计显示数值低于8Pa时，开“机械泵扩散泵”，扩散泵加热。扩散泵加热温度超过160℃后，方可进行正常的操作。 3.2.3缓慢调节氩气、氮气减压阀，得氩气、氮气的低压表读数控制在0.1-0.2MPa之间。 集热管单靶镀膜工艺操作规程 编 号 ZHKJ--1 第 A 版 第 0 次修改 山东中恒科技有限公司 第 2 页 共 4 页 3.2.4打开质量流量计显示器电源开关。 3.2.5打开计算机电源，输入工艺卡片中规定的工艺参数。 3.2.6打至 “放气”按钮，放完气后打到“停”，然后打开镀室门。 3.3装管 3.3.1打开转架电源开关，将合格内管插入转架插杆。装管时，预先戴好一次性手套，外层再戴上干净的细纱手套，戴好之后不许触摸其他