06电子束与物质的物理作用解释.ppt

第6章电子与物质的交互作用 电子与物质相互作用会产生透射电子、弹性散射电子、能量损失电子、二次电子、背反射电子、吸收电子、X射线、俄歇电子、阴极发光和电动力等多种物理现象。 散射 散射:聚焦电子束照射到样品上时，在样品物质的库仑电场作用下，入射电子方向发生改变。 分为：弹性散射和非弹性散射。 弹性散射：电子只改变方向，无能量变化。 非弹性散射：电子不但改变方向，能量也有衰减转变为热、光、X射线、二次电子等。 原子核对电子的弹性散射 原子核对电子的非弹性散射 核外电子对入射电子的非弹性散射 发生的非弹性散射使入射电子所损失的能量部分转变为热能，部分使物质中原子发生电离或形成自由载流子，并伴随这产生各种有用信息，如二次电子，俄歇电子、特征X射线、特征能量损失电子、阴极发光、电子感生电导等。 非弹性散射产生的物理效应可反映样品的形貌、结构及成分特征，为电子显微分析提供信息来源。 二次电子 定义：入射电子与原子核外电子发生作用时，使原子变为离子而失掉的电子。 价电子激发：原子中的电子；（主要形式） 芯电子激发：原子内层的电子被激发。 价电子的激发几率远大于内层电子：所耗能量少 特点：1、对样品表面形貌敏感；2、空间分辨率高；3、信号收集效率高： 成为扫描电镜成像的主要手段。 背散射电子 定义：散射过程中，累计散射角超过90o，重新从样品表面逸出的电子。 特点：