溶胶-凝胶技术.ppt

第八章 溶胶-凝胶法制备 薄膜及涂层材料 Sol-Gel法制备薄膜优点：不需要PVD和CVD那样复杂昂贵设备，具有工艺简便、设备要求低以及适合于大面积制膜，而且薄膜化学组成比较容易控制，能从分子水平上设计、剪裁等特点，特别适于制备多组元氧化物薄膜材料。 （一）非醇盐法制备薄膜的溶胶-凝胶工艺特征 一、溶胶-凝胶法制备薄膜的工艺特征 1.反应体系的确定 反应体系的确定主要考虑以下几个因素： （1）以当前先进功能烧结陶瓷主成分为依据选择相应的无机前驱体； （2）合成初期的化学现象具有代表性； （3）涉及单组分和多组分氧化物。 其目的在于一方面使最初的研究具有一定应用背景；另一方面则是便于扩大研究范围。 以十种薄膜材料为例来说明各反应体系特点。 反应体系的组成如表7-1所示。 表7-1 反应体系的组成 材料 主盐 沉淀剂 成膜促进剂 Al2O3 La2O3-Al2O3 ZrO2(Y2O3)-Al2O3 Al(NO3)3、La(NO3)3、Al(NO3)3 、ZrOCl2、Y(NO3)3 NH4OH H2C2O4 聚乙烯醇（PVA） MgO-ZrO2 Y2O3-ZrO2 ZrOCl2 、Mg(NO3)2、Y(NO3)3 NH4OH (NH4)2CO3 聚乙烯醇（PVA）、阴离子表面活性剂 MgAl2O4 MgFe2O4 Mg (Fe，Al)O4 Mg (NO3)2 、A