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高科技產業概況 – 微機電產業分析與介紹 組員： 鍾妮君 賴紅旭 劉懿璇 劉如晏 一、緒論 微機電系統(Micro-Electro-Mechanical System)簡稱MEMS 是目前科技界公認最具未來發展 潛力及前瞻性的研究領域 二、微機電系統產業概況 何謂微機電系統技術 （Micro Electro-Mechanical System, MEMS）？ 是一種結合光、機、電、材、控制、物理、生醫、化學等多重技術領域之整合型與微小化系統製造技術。 MEMS 可應用的產業範圍 包括： 資訊／通訊／消費性電子、工業生產、生醫保健、環保工安、國防工業、農林水產、太空航空…等。 有關微機電的探討與研發 世界微機械高峰會議(World Micromachine Summit) 。 三、微機電系統的製造技術 矽微加工技術方面又可分為以下三種： 體型微加工技術（Bulk micromachining） 面型微加工技術（Surface micromachining） 微光刻電鑄造模技術（LIGA process） 體