第8章压电式传感器课件.ppt

1.压电式压力传感器 2.压电式加速度传感器 3.用压电式传感器测表面粗糙程度4.压电式玻璃破碎报警器 5.压电式煤气灶电子点火装置 6.微重力压电晶体生物传感器 7.压电血压传感器 8.医用电子鼻 利用正压电效应可研制成压电电源（煤气灶和汽车发动机的自动点火装置等多种电压发生器）；在测试技术中，压电转换元件是一种典型的力敏元件，能测量最终可变换为力的有关物理量，例如压力、位移、加速度、机械冲击和振动等，因此在声学、力学、医学和宇航等广阔领域中都可见到压电式传感器的应用。 利用逆压电效应可制成多种超声波发生器和压电扬声器等。 利用正、逆压电效应可制成压电陀螺、压电线性加速度计、压电变压器、声纳和压电声表面波器件等。 压电式测力传感器在直接测量拉力或压力时，通常多采用双片或多片石英晶体作压电元件。按测力状态分为单向力、双向力和三向力传感器。 1．压电式压力传感器 压力传感器图片 单向压电石英力传感器的结构如图所示。压电元件采用xy（即0oX）切型石英晶片，利用其纵向压电效应，通过d11实现力－电转换。它用两块晶片（φ8×1mm）作传感元件，被测力通过传力上盖（1）使石英晶片（2）沿电轴方向受压力作用，由于纵向压电效应使石英晶片在电轴方向上出现电荷，两块晶片沿电轴方向并联叠加，负电荷由片形电极（3）输出，压电晶片正电荷一侧与底座连接。两片并联可提高其灵敏度。压力元件弹性变形部分的厚度较薄，其厚度由测力大小决定。这种结构的单向力传感器体积小、重量轻（仅10g），固有频率高（约50~60kHz），可检测高达5000N的动态力，分辨率为10-3 N。 1). 单向力传感器 1 —传力上盖 2 —石英晶片 3 —电极 4 —底座 5 —电极引出插头 6 —绝缘材料 双向力传感器 双向力传感器基本用于测量垂直分力Fz 与切向分力Fx 或Fy，以及测量互相垂直的两个切向分力，即Fx和Fy 。无论哪一种测量，传感器的结构形式相似。图（a）为双向压电石英晶片的力传感器的结构。两组石英晶片分别测量两个分力，下面一组采 （a）双向力石英传感器 （b）厚度剪切的yx（ 0o Y ）切型 用xy（0oX）切型，通过 d11 实现力－电转换，测量轴向力Fz ；上面一组采用 yx（0oY）切型，晶片的厚度方向为y 轴方向，在平行于x 轴的剪切应力б6（在 xy 平面内）的作用下，产生厚度剪切变形。所谓厚度剪切变形是指晶体受剪切应力的面与产生电荷的面不共面，如图（b）所示。这一组石英晶体通过 d26 实现力－电转换来测量Fy 。 三向力传感器 （a）结构 （b）压电组件 （c） x，y，z双晶片 压电组件为三组双晶片石英叠成并联方式。它可以测量空间任一个或三个方向的力。三组石英晶片的输出极性相同。其中一组取xy（0oX）切型晶片，利用厚度压缩纵向压电效应 d11 来实现力－电转换，测量主轴切削力Fz ；另外两组采用厚度剪切变形的yx（0oY）切型晶片，利用剪切压电系数 d26 来分别测量 Fy 和 Fx 。由于 Fy 和 Fx 正交，因此，这两组晶片安装时应使其最大灵敏轴分别取向 x 和 y 方向。 2）压电式压力传感器测量冲床压力 3）压电式压力传感器测量金属加工 切削力 图8.11 冲床压力检测 图8.10 2压电式刀具切削力测量示意图 2.压电式加速度传感器 用于测量加速度的传感器种类很多，压电式加速度传感器是一种最常用的加速度计（80％以上）。具有一系列优点：体积小，重量轻，坚实牢固，有较好的频率响应（几千赫～几十千赫），如果配以电荷放大器，低频响应也很好（可低至零点几赫），测量范围大（加速度为10-5~10-4 g，g 为重力加速度 9.8m／s2）等。 加速度传感器图片 因为 F = ma （m 为重块质量，a 为加速度），当传感器选定后，m为常数，所以传感器输出电荷为 Q 与加速度 a 成正比。 因为，压电传感器的输出电压为 ，若传感器中电容量 C 不变，那么 ，因此，可以用电压值表示测量的加速度。 压电元件（一般由两片压电晶片并联）置于基座上，其上面加一块比重较大的质量块，质量块上用弹簧压紧，从而对压电晶片施加预应力。 测量加速度时，被测物件与传感器刚性固定在一起，质量块也受加速度的作用产生一个与加速度成正比的惯性力 F