潔净室(区)尘埃粒子数检查操作规程.docVIP

：洁净室（区）尘埃粒子数检查操作规程 1.目的：建立一个测定洁净室（区）尘埃粒子数的检查方法。 2.范围：适用于所有全厂洁净室（区）、超净台等的环境监测。 3.责任：质检科检验员对实施本规程负责。 4.程序 4.1测试方法 4.1.1本测试方法采用计数浓度法，即通过测定洁净环境内单位体积空气中含大于或等于某粒径的悬浮粒子数，来评定洁净室（区）的悬浮粒子洁净度等级。 4.1.2仪器：用于粒径大于或等于0.5μm的悬浮粒子计数器（如：CLJ—01D型尘埃粒子计数器）。 4.2测试规则 4.2.1.测试条件 4.2.1.1温度和湿度：洁净室（区）的温度和相对湿度与其生产及工艺要求相适应（温度控制在18℃～26℃，相对湿度控制在45%～65%之间为宜）。 4.2.1.2压差：空气洁净度不同的洁净室（区）之间的压差应≥5Pa，空气洁净度级别要求高的洁净室（区）对相邻的空气洁净度洁净级别低的洁净室（区）一般要求呈相对正压。 4.2.2测试状态 4.2.2.1静态测试：洁净室（区）净化空气调节系统已处于正常运行状态，工艺设备已安装，洁净室（区）没有生产人员的情况下进行的测试，测试时，室内测试人员不得多2人。 4.2.2.2动态测试是洁净室（区）已处于正常生产状态下进行的测试。 4.2.3测试时间 4.2.3.1对单向流，测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于10min后开始。 4.2.3.2