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电子束与样品的作用 The Electron and Sample Reaction 本部分内容 电子束与样品的作用体积 电子束照射样品产生的信号 弹性散射与非弹性散射 背散电子与二次电子 原子序数对电子束作用体积的影响 轻元素中穿透深，梨形 重元素中穿透浅，球缺形 入射电压对作用体积的影响 Monte Carlo Simulation 结果显示： 宽度和深度随电压改变，形状不变 电子束与样品的作用体积 Monte Carlo Simulation 基本点： 每次运动平均自由程； 用Bethe表达式计算能量损失； 选取0~180随机散射角； 直到电子能量耗尽后终止 大量模拟数据时，可以得到作用体积平均 样品倾转对作用体积的作用 Monte Carlo Simulation 结果显示： 入射电子束成锐角入射使作用区域靠近表面 电子作用深度——KO公式 电子作用深度——计算结果 电子束在样品中作用深度的计算 电子在样品中经历多次的非弹性散射，把能量转移给样品 用散射截面可以有效地描述非弹性散射，但是单个散射截面不可测量 采用能量损失速率(average rate of energy lose)可以从宏观上反映非弹性散射 从物理原理上用Beth公式计算电子作用深度 KO公式是经验公式 Bethe 公式 电子作用深度——Bethe 公式 本部分内容 电子束与样品的作用体积 电子束照