新型光电传感器.ppt

9.1 新型固态光电传感器 9.2 CCD(电荷耦合器件) 9.3 光纤传感器 概 述 普通光敏器件阵列 象限探测器 光敏管阵列 PSD (Position sensitive detector )光电位置传感器 SSPD(Self Scanning Photodiode Array)自扫描光电二极管阵列 1 象限探测器 作用 确定光点在平面上的位置坐标； 用于准直、定位、跟踪等。 结构 利用光刻技术，将一整块圆形或正方形光敏器件敏感面分割成若干区域； 各个区域各面积相等、形状相同、位置对称； 背面仍为一体。 各类象限探测器示意图 原理 光点投射到探测器上； 各象限上光斑大小不同； 光生电动势也不同： U2U1U3U4； 可断定光心在第4象限； 标定后，可知光心在X、Y方向的坐标。 和差坐标换算 Y方向： X方向： 和差测量电路 直差坐标换算—器件旋转45° Y方向： X方向： 直差测量电路 3 位置敏感器件 PSD的特点 1）响应速度快，可靠性高。 2）光点位置测量精度与光斑的形状无关，只与光斑的能量中心有关，减小杂光日光的干扰； 3）光敏面上无须分割，消除了死区，可连续测量光斑的位置，分辨率高，一维PSD可达0.02μm； 4）可同时检测光点的位置和强度，PSD总输出电流反映光点的光强，两极电流之差反映光点的位置。