7-测量学与缺陷检查资料.ppt

十一. 接触角度 接触角度仪用于测量液体与硅片表面的粘附性，并计算表面能或粘附性力。这种测量表征了硅片表面的参数，比如疏水性、清洁度、光洁度和粘附性（见图5.5）。 接触角 接触角 小滴 衬底 视频光学接触角测量仪 7.3 分析设备 本节介绍支持硅片生产的主要分析设备，这些分析仪提供高度精确的硅片测量，它们通常位于生产区外的实验室，以决决生产问题。 ● 二次离子质谱仪（SIMS） Second Ion Mass Spectrometer ● 飞行时间二次离子质谱仪（TOF-SIMS） Time of Flying-SIMS ● 原子力显微镜（AFM） Atom Force Microscopy ● 俄歇电子能谱仪（AES） Auger Electron Spectrometer ● X射线光电能谱仪（XPS） X-ray Photoelectron Spectrometer ● 透射电子显微镜（TEM） Transmission Electron Microscopy ● 能量弥散谱仪（EDX）和波长弥散谱仪（WDX） ● 聚焦离子束（FIB） Focusing Ion Beam 一. 二次离子质谱仪 二次