扩散3-4管方阻异常排查报告.pptx

扩散3-4方阻异常排查报告 技 术 部 张洪栋 2014.4.8目录 异常描述 原因分析 原因排查以及确认小结以及后续计划异常描述时间：2014.3.29-2014.4.5地点：扩散间相关人员：技术部---王永伟、张洪栋 设备部---吴怀国、许光灿 起因（表象原因）：3.29号3-4、3-5、3-6管突然同时出现方阻偏低现象（正常方阻65±3），其中3-4管方阻最低，异常最严重，方阻如图：原因分析可能原因总结如下： 1、外围排风关小或被堵；2、外围供气（大氮、小氮、小氧）异常；3、各供气流量计故障；4、尾排抽风过小或被堵；5、温度异常偏高；原因排查以及确认 3月29日发现3-4、3-5、3-6管整体方阻异常偏低，和设备一起检查磷源温度、尾排各管接触等，对尾排开大，降低温度试片失败；和设备一起测试尾排抽风并和其它管作对比无异常。原因排查 3月30日对3-4管进行小氮鼓泡检查，发现3-4管小氮鼓泡偏小，更换小氮流量计后进行试片，效果不明显；将3-4、3-5、3-6降低小氮流量、降低大氮流量、增大小氧流量后进行试片，方阻有所提升（达到40），但仍达不到正常值，波动较大，总体方阻偏小，结合流量减小基础上加大排风开度试片方阻达到55-65之间，3-5和3-6可以正常生产；3-4方阻40，且波动难以控制，下午找设施人员查找外围抽风送气（小氧、大氮、小氮）是否堵塞等情况，无异常；3.