单晶拉制作指导书(新).docVIP

目的 将硅多晶及硅单晶转变成客户需要的硅单晶。 适用范围 宁夏单晶炉 使用设备及工具 ·宁夏单晶炉、真空泵（主/辅）、循环冷却水系统、氩气输送系统、 ·斜口钳、螺丝刀、不锈钢托盘、不锈钢推车、硅单晶专用取棒车、美工刀等 材料 ·多晶硅、可回收利用的硅材料、掺杂剂、5个9的高纯Ar、可循环的软化冷却水、高纯石墨热场 ·一次性手套、防静电手套、乳胶手套、隔热手套、一次性口罩 ·无尘清洁纸 、无水乙醇 环境要求 洁净房 重要工艺参数 见《工艺参数卡》 宁夏单晶炉面板介绍 作业步聚 热场组立 按照《热场装配图》，将热场部件逐一装配组合。 ※ 注意外保温筒的测温孔与温度传感器对准，否则将无法用温度控制拉晶。 点击【坩埚】键调出坩埚控制菜单，在方框内中输入想要的坩埚转速，按【OK】键确认，最后点击【ON】按钮让坩埚旋转来确认加热器是否与中轴同心，可以调整加热器的两个固定螺丝使中轴与加热器尽量调至同