光电传感与检测第二章2导论.ppt

* * 钢带材跑偏检测应用 光强测量应用 转速传感应用 一、光电位置传感器PSD 高灵敏度光电位置传感器PSD (Position Sensitive Detector) 是一种新型的光电器件, 或称为坐标光电池, 它是一种非分割型器件, 可将光敏面上的光点位置转化为电信号。当一束光射到PSD 的光敏面上时, 在同一面上的不同电极之间将会有电流流过, 这种电压或电流随着光点位置变化而变化的现象就是半导体的横向光电效应。因此利用PSD 的pn 结上的横向光电效应可以来检测入射光点的照射位置。 一维PSD 的结构 (1) 当坐标原点选在PSD 中心时: (2) 当坐标原点选在PSD 一端时: 当PSD 表面受到光照射时, 在光斑位置处产生比例于光能量的电子—空穴对流过P 层电阻, 分别从设置在P 层相对的两个电极上输出光电流I 1 和I 2, 由于P 层电阻是均匀的, 电极输出的光电流与入射光斑位置到各自电极之间的距离存在一定的关系。 (3) 当坐标原点选在PSD 中心时: (4) 当坐标原点选在PSD 一端时: PSD器件 光谱特性 位置探测 光电位置传感器（PSD）的特点： 1）它对光斑的形状无严格要求，只与光的能量中心位置有关。 2）光敏面上无死区，可连续测量光斑的位置，一维PSD的分辨率可达 0.2μm . 3）可同时检测位置和光强