钛合金的CEL加工.docVIP

J Appl Electrochem (2008) 38:785–791 DOI 10.1007/s10800-008-9513-7 钛合金Ti6Al4V的一种电化学微加工方法潜在的应用前景 L．M．Jiang·W．Li·A．Attia·Z．Y．Cheng·J．Tang·Z．Q．Tian·Z．W．Tian Received: 29 August 2007 / Revised: 31 January 2008 / Accepted: 31 January 2008 / Published online: 21 February 2008 ?Springer Science+Business Media B.V. 2008 摘要 在金属上进行的复杂三维微结构（立体微加工）的微加工可被应用于为微机电系统（MEMS）制造许多新型的器件，它将大大促进微机电系统(MEMS)的发展。在本文中，一种被称为约束刻蚀剂层技术（CELT）被开发出来用于钛合金的微加工。微小的不规则四边形槽通过使用一个模板和相应的阴极微结构（梯形插口）被复制在钛合金上。该加工分辨率达到0.503μm。包括分析过程和影响加工分辨率的参数在内的电化学原理都被纳入讨论。 A. Attia is on leave from Physical Chemistry Department, National Researc