2-chap-2等离子体导论之二.pptVIP

等离子体的形成(电离气体等离子体) 低温等离子体的产生方法 辉光放电 电晕放电 介质阻挡放电 滑动电弧放电 射频放电 电子回旋共振放电 微波放电 ?辉光放电属于低气压放电(low pressure discharge)，工作压力一般都低于10mbar，其构造是在封闭的容器內放置两个平行的电极板，利用电子将中性原子和分子激发，当粒子由激发态(excited state)降回至基态(ground state)时会以光的形式释放出能量。电源可以为直流电源也可以是交流电源。每种气体都有其典型的辉光放电颜色(如下表所示)，荧光灯的发光即为辉光放电。 辉光放电(Glow Discharge) 典型的直流辉光放电实验如图所示。在一密封的石英玻璃中充满待要放电的气体，气压约为 0.1- 10 Torr，并插入两个金属电极。当管内气压处于上述气压范围某一固定值，且当电源电压V高于气体的击穿电压时，气体开始电离，形成辉光放电。这种放电的电压约为几百伏，电流约为几百个毫安培。 雪崩放电 在直流辉光放电管中，从阴极到阳极基本上可以划分八个区域，即阿斯顿暗区、阴极辉光区、阴极暗区、负辉区、法拉第暗区、正柱区、阳极暗区和阳极辉光区。前三个区总称为阴极位降区 ，大部分源电压是在该区域下降，主要是由于从阴极发射出来的电子在阴极位降区被加速。阴极位降区较暗，不发光。 从阴极位降区出来的电子将与负辉区中的原子或分