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25压电式传感器.ppt
2.5 压电式传感器 压电式单向测力传感器主要由石英晶片、绝缘套、电极、上盖及基座等组成。传感器上盖为传力元件,当外力作用时,它将产生弹性变形,将力传递到石英晶片上,利用其压电效应,实现力电转换。 2.5 压电式传感器 2.5.1 压电式传感器的工作原理 1.压电效应 (1)正压电效应:某些电介质在沿一定方向上受到外力的作用而变形时,内部会产生极化现象,同时在其表面上产生电荷,当外力去掉后,又重新回到不带电的状态,这种现象称为正压电效应。 2.5 压电式传感器 (2)逆压电效应:在电介质的极化方向上施加交变电场或电压,它会产生机械变形,当去掉外加电场时,电介质变形随之消失,这种现象称为逆压电效应(电致伸缩效应)。故压电效应是可逆的。 2.5 压电式传感器 2.5 压电式传感器 2.压电材料的分类及特性 压电式传感器中的压电元件材料一般有三类: 一类是压电晶体(单晶体); 另一类是经过极化处理的压电陶瓷(多晶体); 第三类是高分子压电材料。 2.5 压电式传感器 (1)石英晶体 石英晶体是一种性能良好的压电晶体,它的突出优点是性能非常稳定。具有自振频率高、动态响应好、机械强度高、绝缘性能好、迟滞小、重复性好、线性范围宽等优点。石英晶体的不足之处是压电常数较小。 2.5 压电式传感器 (2)压电陶瓷 压电陶瓷是人工制造的多晶压电材料,它由无数细微的电畴组成。 (3)高分子压电材料 高分子压电材料是一种柔软的压电材料,可根据需要制成薄膜或电缆套等形状,经极化处理后就显现出压电特性。 2.5 压电式传感器 2.5.2 压电式传感器的测量转换电路 1.压电元件的等效电路 2.5 压电式传感器 2.5 压电式传感器 2.压电式传感器的测量电路 (1)电荷放大器 电荷放大器是一种输出电压与输入电荷量成正比的放大器。 2.5 压电式传感器 (2)电压放大器 2.5 压电式传感器 2.5.3 压电式传感器的应用 1.玻璃打碎报警装置 2.5 压电式传感器 2.压电式金属加工切削力测量 * * 图2.47 压电式单向测力传感器结构图 压电效应动态演示 图2.50 压电式传感器测试系统等效电路 (a)电荷等效电路(b)电压等效电路 图2.51 电荷放大器等效电路 图2.52 简化后的电压等效电路 图2.53 高分子压电薄膜振动感应片 1—正面透明电极 2—PVDF薄膜 3—反面透明电极 4—保护膜 5—引脚 图2.54 压电式刀具切削力测量示意图
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