第3章 超精密削加工.pptVIP

第3章 超精密切削加工 超精密切削加工主要是用高精度的机床和单晶金刚石刀具进行的加工。故一般称为金刚石刀具切削 (Single Point Diamond Turing， SPDT)。 3.1 超精密切削的历史 60年代初，由于宇航用的陀螺，计算机用的磁鼓、磁盘，光学扫描用的多面棱镜，大功率激光核聚变装置用的大直径非圆曲面镜，以及各种复杂形状的红外光用的立体镜等等各种反射镜和多面棱镜精度要求极高，使用磨削、研磨、抛光等方法进行加工，不但加工成本很高，而且很难满足精度和表面粗糙度的要求。为此，研究、开发了使用高精度、高刚度的机床和金刚石刀具进行切削加工的方法加工。 经SPDT加工的光学元件成品示意图 图中所示的各种形状的零件是去氧铜或铝合金材料， 3. 2 超精密切削加工的应用 平面镜的切削 （1）平面镜的切削 平面度0.06 μm 表面粗糙度Rmax0.02 μm 玻璃镜的切削 测量结果 （2）多面镜的切削 激光印刷机、复印机。 面分度精度7.5 面倾斜精度3.6“ 平面度0.07 μm 表面粗糙度Rmax0.02 μm （3）球面镜的切削 （4）球面镜的切削 （5）其它零件的切削 球面（球轴承）车削 复印机硒鼓（圆柱面）车削 磁盘基片的车削 3.3 金刚石刀具切削的优点（1） 平面镜的表面粗糙度可达Ry5μm，曲面镜的表面粗糙度可达Ry10μm，形状精度可达30μm