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实验一 光学薄膜的制备余永刚 电子141 201412040129实验目的掌握电子束蒸发镀膜机的使用方法掌握光学薄膜的制备方法实验设备与材料电子束蒸发镀膜机玻璃基片SiO2、Ti3O5实验原理电子束蒸发镀膜机的工作原理电子束蒸发镀膜机是一种普适镀膜机，用于镀制各种单层膜、多层膜。可镀各种硬质膜、金属膜，如图所示。图ZZ-800电子束蒸发镀膜机电子束镀膜机构成：电子束镀膜机主要包括真空镀膜室和真空抽气系统。真空镀膜室包括：电子枪、电阻加热蒸发器、坩埚、挡板、离子源、基板架、电离规、热偶规、石英晶振片等组成；真空抽气系统主要由扩散泵、罗茨泵、机械泵、阀门等组成。电子束镀膜机在薄膜制备中的作用：减少蒸发分子跟残余气体分子的碰撞；蒸发分子在行进的路径中，他们中的一部分会被残余气体分子碰撞而散乱]。电子束镀膜机的性能指标ZZ-800电子束蒸发镀膜机也有许多的性能及要求，电子束镀膜机要想正常的在规定范围内运转，则需满足下面表格中的规格指标。表 ZZ-800电子束蒸发镀膜机的规格指标ZZ-800电子束蒸发镀膜机规格指标电子枪功率极限真空度温度温度变化坩埚数量控制系统真空抽速5-10 KW Pa300 ℃±2 ℃8自动控制和手动控制3×10-4 Pa/20 min光学薄膜的原理所谓光学薄膜的原理即镀膜的原理包括很多，其中有折射率、界面反射、反射率公式、光是电磁波、电磁波的干涉等。折射率：用光在真