四探针方法测电阻率(原理公式推导)讲述.ppt

探针方法测量半导体的电阻率 〈一〉实验目的 〈二〉实验原理 〈三〉仪器结构特征 〈四〉操作步骤 〈五〉注意事项 〈六〉技术参数 一 实验目的 1、理解四探针方法测量半导体电阻率的原理； 2、学会用四探针方法测量半导体电阻率。 二 实验原理 1、体电阻率测量： 四探针法测量原理图 当１、２、３、４四根金属探针排成一直线时，并以一定压力压在半导体材料上，在１、４两处探针间通过电流I，则２、３探针间产生电位差V。 材料电阻率 式中：S1、S2、S3分别为探针１与２，２与３，３与４之间距，用cm为单位时的值，S1=S2=S3=1mm. 每个探头都有自己的系数。C?6.28?0.05单位cm。 若电流取I = C 时，则ρ＝V，可由数字电压表直接读出。 探针系数 (1) (2) 温度影响电阻率,从面影响电阻 p=p1(1+aT),p1为该材料0摄氏度时的电阻率, a叫电阻的温度系数,不同材料的电阻温度系数不同 由R=p*l/s p=p1(1+aT),得 R=R1(1+aT) 同理,R1为0摄氏度时的电阻 R=p*l/s(p—电阻率查表求；l—电阻长度；s—与电流垂直的电阻截面面 （a）块状和棒状样品体电阻率测量： 由于块状和棒状样品外形尺寸与探针间距比较，合乎于半无限大的边界条件，电阻率值可以直接由（１）、（２）式求出。 （b）簿片电阻率测量