透射电子显微镜-刘东资料.ppt

透射电子显微镜-TEM Transmission electron microscope TEM的应用 TEM在水泥、陶瓷、金属、高分子材料中广泛应用，研究的内容归纳为： （1）分析固体颗粒的形状、大小、粒度分布等。 （2）研究材料的微观形貌与结构。 （3）电子衍射。（点阵结构、点阵常数、取向、物相分析） 通过观察、分析，将组织结构与工艺联系起来，研究材料结构、工艺、性能的关系。 表 1-1 不同加速电压下的电子波波长 电磁透镜的焦距 2.电子显微基础 一、背散射电子（backscattering electron） 背散射电于是指被固体样品中的原子核反弹回来的一部分入射电子。 其中包括弹性背散射电子和非弹性背散射电子。 弹性背散射电子是指被样品中原子核反弹回来的散射角大于90?的那些入射电子，其能量基本上没有变化。 弹性背散射电子的能量为数千电子伏到数万电子伏。 非弹性背散射电子是入射电子和核外电子撞击后产生非弹性散射而造成的，不仅能量变化，方向也发生变化。 如果有些电子经多次散射后仍能反弹出样品表面，这就形成非弹性背散射电子。 一、背散射电子（backscattering electron） 非弹性背散射电子的能量分布范围很宽，从数十电子伏到数千电子伏。 从数量上看，弹性背散射电子远比非弹性背散射电子所占的份额多。 背散射电子的产生范围在100nm到1 ?m深，由