透射电子显微镜样品制备资料.pptVIP

凹坑后的样品 3. 凹坑 4. 离子减薄 目的：TEM样品的最终减薄，以获得电子束透明的观察区域。 特点：不受材料电性能的影响，即不管材料是否导电，金属或非金属或者二者混合物，不管材料结构多复杂均可用此方法制备薄膜。制样时惰性气体介质（氩气）对样品组织结构无影响。 原理：在电场作用下氩气被电离成带Ar+的氩离子，带着一定能量的氩离子从阳极飞向阴极，通过阴极孔，打在接地的样品表面，使样品表面溅射。 4. 离子减薄 注意事项：减薄开始阶段，一般采用较高电压，较大束流，较大角度，这个阶段约占整个减薄过程的一半时间，随后，电压，束流，角度可相应减小，直到样品出孔，样品出孔后，即可转入样品抛光阶段，这阶段主要是改善样品质量，使薄膜获得平坦而宽大的薄区。 4. 离子减薄 样品台 4. 离子减薄 基本流程 注意事项: 随时观察样品的减薄情况。 4. 离子减薄 离子减薄后的NdFeB样品 4. 离子减薄——影响样品制备的因素 与仪器有关的 A、离子束电压 B、离子束电流（氩气的流量） C、离子束的入射角 D、真空度 与样品有关的 A、样品的种类（性质） B、样品的微结构特点 C、样品的初始表面条件 D、样品的初始厚度 E、样品的安装 离子减薄示例——截面样品 减薄前表面状态不好，造成的损伤 三、薄膜样品 三、薄膜样