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化学气相合成技术 化学气相输运合成原理 化学蒸汽沉积(CVD)合成概述 CVD法的仪器设备 CVD法中的沉积速率 CVD法中的选择性沉积 与CVD相关的方法 CVD合成示例 气相中的化学反应 气相中的化学反应是均相反应； 若产物是液相或固相则分离极方便； 若产物是固体，由于气体反应的分压可以控制，则原则上可以得到各种粒度的产物，包括纳米尺度的产物。 若产物在基底上生成，则可以形成各种膜材料。 化学气相输运合成原理 一个非挥发性的固体(A)可逆地与一个气态反应物(B)生成一个气态产物AB。反应的平衡常数依赖于温度变化，随之AB的平衡浓度随温度而变化。因此，当反应体系在温度梯度存在下，AB的浓度也存在梯度变化。这就提供了总物质通过扩散迁移，从反应源位置(T1)到沉降位置(T2) 而需要的驱动力。在T1点形成AB；在T2点，化学平衡位置移动到A和B一边。 特点 为了提高传输效率，T1和T2点的平衡位置不能相距太远。 放热反应导致反应移向高温区(T1T2)；吸热反应导致反应移向低温区（T1T2) 。 化学输运与升华的区别是形成中间态气相化合物。 体系可以是开放的，也可以是封闭的。 应用领域：纯化固体、生长单晶、合成新化合物。 输运反应概念 实验室中输运反应 封闭管(长度：10-20 cm;直径：1~2 cm)内进行的。 样品放在玻璃管，将玻璃管抽真空，并加入输运剂。 熔封后放在具有温度