12表面分析方法概论.ppt

原子力显微镜与TEM、SEM相比有明显不同，它用一个 微小的探针来“摸索”微观世界，AFM超越了光和电子波 长对显微镜分辨率的限制，在立体三维上观察物质的形 貌，并能获得探针与样品相互作用的信息。典型AFM的 侧向分辨率（X,Y方向）可达到2nm，垂直分辨率（Z方 向）小于0.1nm，AFM具有操作容易，样品制备简单、 操作环境不受限制、分辨率高等优点。 当针尖接近样品时，针尖受到力的作用使悬臂发生偏转或振幅改变，悬臂的这种变化经检测系统检测后转变成电信号传递给反馈系统和成像系统，记录扫描过程中一系列探针变化就可以获得样品表面信 息图像。 （1）探针（probe） 探针是AFM检测系统的关键部分，它由悬臂和悬臂末端的针 尖组成。悬臂是由Si或Si3N4经光刻技术加工而成，悬臂的 背面镀有一层金属以达到镜面反射。 接触模式的探针 Si、 Si3N4 102~10-2 N/m 10 kHz AFM Basic: Principle 敲击模式的探针 Si 20~200 N/m 200~400kHz （2）、AFM基本成像模式 A、接触式 针尖始终同样品接触并在表面滑动，针尖－样品间的相互作用力是两者互相接触的原子中电子间存在的库仑排斥力，其大小通常为10－8～10－11 N，AFM中样品表面形貌图象通常是采用这种排斥力模式获得的。 接触式通常可产生稳定、高分辨图象，但对于低弹性模