无尘室完整(Cleaningroom)技术总结.pptVIP

* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 無塵室的空調設計 F潔淨室空調特性： 潔淨室的空調除了必須滿足產品需求的溫濕度條件外，對工作者的舒適度和空氣潔淨度等度均必須顧慮到，其他如能源消耗、防震及噪音控制也是考慮因素。 潔淨室的潔淨度的能否維持在要求之規範內，空調系統扮演了主要的角色，因而潔淨室的空調系統有著與一般空調系統的不同特徵，分述如下： 1.溫濕度要求比一般空調低：一般空調系統溫度要求在25°~ 27℃間，相對濕度則在 55~77%；而潔淨室空調分別為22~23℃及40~45%，50~60%。 2.對空氣品質要求較嚴格：一般空調除了溫濕度要求是比潔淨室空調較彈性外，在微 塵粒子之過濾和Na離子之處理，潔淨室空調均必須加以考慮要求。 3.恆溫恆濕控制：由於製程產品製程對溫，濕度變化的大小極為敏感，故在潔淨室空 調中部份區域須控制在±0.1℃和1~2%RH的範圍內。 4.全外氣量與換氣次數大：在半導體工廠中，製程系統須使用大量的化學品和毒氣， 而這些化學品與氣體所產生的些揮發氣和廢氣必須予全數排除，故其排氣量相當大 ，尤其是在化學工作站更甚，加上為維持空氣之品質和安全，故半導體潔淨室空調 系統一般均不回風，而全以外界新鮮空氣補R入系統中，故換氣次數相對增加，方能 符合溫，濕度及潔淨度等級的需求。 5.空調系統24小時全天候運轉：半導體工廠，部份製程設備其對溫，濕度的要求相當 敏感如步進曝光機等光學儀器，些微的溫，濕度變化均會造成設備的精準度偏差， 另外晶片等產品也必須置放在定溫定濕的環境下，加上工廠均是24小時輪班作業， 故空調系統也必須24小時甚至可說是全年無休(除了電力工司停電外)運轉，而一般 空調則可視工作人員的上班狀況機動調整，因此半導體空調負荷為一般空調的4~5倍 。 無塵室的空調設計 F潔淨室空調特性： 6.氣流分怖需均勻：潔淨室空調為帶走潔淨室內所產生的微塵粒子，以維持潔淨度， 故除了氣流速度須達一定之要求標準外，氣流的形狀也必須依不同的潔淨室等級而 加以適當的控制。 7.運轉成本相當高：由於潔淨室熱負荷相當大，又是全外氣供氣，循環風量亦甚可觀 ，故總加成之後的空調運轉費用也水漲船高。不只是初期設備的投資成本高，日後 的運轉及維護費用也相當高，依據資料顯示，半導體廠，單位面積的耗電量為6”晶 圓廠：約1.35 Kw/m2，而8”廠則高達約1.9 Kw/m2 。除了以上的特性外，潔淨室的空 調須與鄰室維持適當的壓差：送風溫度與室內溫度差距小等亦均為其特性。 8.外氣需要量計算：潔淨室空調前已提及是以全外氣供應，而外氣需要量的多寡將受 如下的因素所影響：(1)製程排氣量；(2)間隙外洩量；(3)開門外洩量；(4)健康要 求量。即外氣需要量(Q1)≧製程設備排氣量(q1)+間隙外洩量(q2)+開門外洩量(q3) 外氣需要量=排氣量+10%排氣量(洩漏量)+0.5%循環空氣量≒8~10%循環空氣量 9.空調箱(Air Handling Unit)之選擇：設計及選擇適當的空調箱及組合，將可收系統 運轉的良好效果。圖為超潔淨用空調箱系統圖。 圖4-3 圖4-3﹑圖4-4為二種潔淨室新鮮空氣空調箱與循環風扇的組合方式； 圖4-3表潔淨室等級10000的空調風管分佈，圖4-4-1與4-4-2為送風機結構圖 圖4-4-1 圖4-4-2 10.潔淨度的計算：在設潔淨室空調系統之前，應事先計算出室內空氣污染物質的濃度，亦即室內的含塵量，因其濃度受空氣污染物質發生量，取入之外氣量、排氣量以及人員數目之多寡和空氣潔淨裝置之淨化效率所影響。若將這些影響視為定常狀態，以考慮空氣污染物質之收支平衡，由此就可求出室內污染物質濃度，而選擇適當的空氣潔淨裝置，提高效率，降低成本。 11.冷凍主機分離設備：冷凍主機於空調設計時除了考慮備用機台外，對於一般空調和潔淨室空調應考慮給于分離設置，以利系統的控制運轉，並符合控制空調箱所需求的冰水溫度標準。 12.VWV(Variable Water Volume)泵浦採用：空調熱負荷並非永遠固定不變其是隨著氣候及季節和現場製程運作生產之狀況而隨時在變化，因此設計採用可調變量的VWV泵浦是可以之道及原則。潔淨室的空調設計重點除了系統運轉穩定、能源因素、安全和滿足生產線上的需求外，對於相關工程之配合，如消防、水電、建築、照明和噪音震動等均是在設計時必須納入的考慮因素。 　　前面各節，已大略提到潔淨室的空調特性，尤其是全外氣供應，耗能相當大，依數據之統計，潔淨室的空調系統電力