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机、电类《传感器与检测技术项目教程》模块七、振动检测 课件统一书号：ISBN 978-7-111-48817-0课程配套网站或 2015年2月第1版 内容简介 本模块介绍“振动” 的基本概念、各种测振传感器、激振的方法、各种激振器，简要介绍频谱图、振动的频谱分析，还介绍了MEMS加速度传感器。 模块七、振动检测（下） 目录 任务二 涡流式位移传感器测量振动 一、认识涡流效应与涡流线圈的阻抗 1．涡流效应 根据法拉第电磁感应定律，金属导体置于变化的磁场中时，导体表面以及近表面就会产生感应电流。电流在金属体内自行闭合，这种由电磁感应原理产生的旋涡状感应电涡流（以下简称涡流）的现象称为涡流效应。 图7-17 涡流效应 1－涡流线圈 2－导电工件 3－涡流 涡流传感器工作原理 涡流效应演示 趋肤效应 工件表面产生的涡流在金属导体的纵深方向不是均匀分布的，主要集中在金属导体的表面，称为趋肤效应，也称集肤效应。 圆形导线中的电缆电流趋肤效应示意图 a）直流电流时的 均匀分布 b）中频电流时中心部位 电密度减小 c）高频电流时，电流 趋向表面分布 电磁炉内部的多股漆包线绕制的涡流线圈 2．涡流线圈的等效阻抗 涡流线圈受被测金属工件影响后一次侧线圈的阻抗Z与激励频率f、磁导率μ、电导率σ、金属导体的形状和表面因素（粗糙度、沟痕、裂纹等）r以及涡流线圈到金