第5章压电式传感器精选.doc

第五章压电式传感器 压电式传感器是以某些晶体受力后在其表面产生电荷的压电效应为转换原理的传感器压电式传感器可以测量最终能变换为力的各种物理量如力、压力、加速度等 优点压电式传感器具有体积小、重量轻、频带宽、灵敏度高等优点。一、压电效应 压电效应某些晶体，在一定方向受到外力作用时，内部将产生极化现象，相应地在晶体的两个表面产生符号相反的电荷当外力作用除去时，又恢复到不带电状态。当作用力方向改变时，电荷的极性也随着改变，这种现象称为压电效应。 具有压电效应的物质石英晶体、压电陶壁、压电半导体等。压电效应二、石英晶体的压电效应 石英晶体石英晶体是二氧化硅单晶，属于六角晶系。天然石英晶体的外形图图5-1为规则的六角棱柱体。石英晶体晶轴: 石英晶体晶轴:光轴z轴它与晶体的纵轴线方向一致电轴X轴它通过六面体相对的两个棱线垂直于光轴机械轴Y轴它垂直于两个相对的晶柱棱面。 晶体切片从晶体上沿XYZ轴线切下的一片平行六面体的薄片称为晶体切片。晶体切片机械轴Y轴晶体切片电轴X轴晶体切片光轴z轴纵向压电效应当沿着X轴对晶片施加力时，将在垂直于X轴的表面上产生电荷，这种现象称为纵向压电效应。横向压电效应沿着Y轴施加力的作用时，电荷仍出现在与X轴垂直的表面上，这称 之为横向压电效应。当沿着Z轴方向受力时不产生压电效应。 晶体切块 ⑸、纵向压电效应产生的电荷为 (5-1) 式中qxx：