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2006-10-11 透射电子显微分析 材料化学研究方法 上节回顾 光学显微分析样品的制备 电子显微分析 概述 电子光学基础 电子与样品的相互作用 4.4 透射电镜（TEM） 透射电镜是一种高分辨率、高放大倍数的显微镜，是材料科学研究的重要手段，能提供极微细材料的组织结构、晶体结构和化学成分等方面的信息。透射电镜的分辨率为0.1～0.2nm，放大倍数为几万～几十万倍。 4.4.1 工作原理 电子枪产生的电子束经1～2级聚光镜后均匀照射到试样上的某一观察微小区域上，入射电子与试样物质相互作用，由于试样很薄，绝大部分电子穿透试样，其强度分布与所观察试样区的形貌，组织，结构一一对应。 将电子信号转变为人眼可见的光信号 电子光学系统（镜筒） 镜筒一般是直立积木式结构. 顶部是电子枪,接着是聚光镜,样品室,物镜,中间镜和投影镜,最下部是荧光屏和照相装置. 照明系统、成像放大系统及图像观察记录系统。 电子枪 是TEM的电子源。通常用的是热阴极三极电子枪（由发叉式钨丝阴极、控制栅板和阳极组成） 电子枪的作用：控制由电子源产生的电子束，并将其导入照明系统 热电子枪示意图 双聚光镜照明系统光路图 电子束平移、倾斜装置 为满足明场，暗场成像的需要，照明束可以较小范围内倾斜，以便以某些特定的倾斜角度照明样品。 TEM成像模式的选择! 2. 成像系统 主要由 物镜 1～2个中间镜 1～2个投影镜