奈米長行程定位平台.docVIP

行走式奈米長行程定位平台 班級：姓名：學號：M9R0207 一、摘要： 本報告主要是針對行走式奈米長行程定位平台所探討，壓電具有體積小、反應快、機電轉換效率高、生熱小等優伺服馬達驅動導螺桿Nanometer Resolution Ultrasonic Motor ,NRUSM），主要是由NRUSM此機構來帶動定位平台，體積雖小但因為壓電陶瓷片的特性，其定位精準度可達到0.69nm、最大速度可達到85 mm/s、平均加速度可達到375 mm/s 關鍵字：NRUSM、壓電陶瓷（Piezoelectric Ceramic） 前言： 2.1背景： 近年來隨著微奈米科技的蓬勃發展，奈米科技已被許多國家列為重點發展目標，現階段奈米科技主要在於發展奈米材料、奈米量測、奈米薄膜、奈米生物技術以及奈米電子元件，平台的定位精準度也必須要求至奈米等級，所以奈米定位平台是這些相關產業是有關鍵性的角色，因奈米級工作空間和解析度的平台是製造奈米元件的關鍵技術，因此微奈米定位平台的重要性開始為眾人所注意。 傳統的長行程定位平台多採用伺服馬達驅動導螺桿、或以線性馬達配上導軌來達到驅動的目的，但因為有背隙以及摩擦種種問題，無法達到奈米等級定位的要求，因而衍生出利用壓電陶瓷做為所驅動的奈米長行程定位平台，精密微定位平台將可應用於各式