由時域測量資料反推連線等效電路之研究.docVIP

新埔技術學院研究成果報告 題目：使用雷射干涉儀來量測壓電薄膜振動平台之動態分析 執行期限：91年2月1日至92年1月31日 郭惠民 一、摘要 本專題主要在研究以黏著於金屬背板的壓電薄膜(PZT Film)為致動器，驅動一微定位滑動平台之動態特性，此特性包含共振頻率、響應時間（response time）、驅動電壓與位移、速度變化量、固定電壓下preload與位移變化量，以尋求最佳化參數；位移量測使用本系現有之雷射干涉儀（Laser Interferometry，精度達5nm）配合無須接觸工件的HP10706A鏡組，以Visual Basic軟體加以分析、並繪圖比較，以作為發展精密控制微定位滑動平台之依據。 關鍵詞：壓電薄膜，雷射干涉儀。 二、緣由與目的 隨著半導體工業與精密機械組裝技術的迅速發展，使得產業技術朝向精密化、微小化發展，高精密度和高穩定性的定位裝置刻不容緩；而平台之相關技術中以驅動裝置最為廣泛討論與研究，一般精密定位平台常以傳統壓電致動器作為驅動裝置，其原因在於其擁有高精度、體積小、質量輕、扭力大等優點且不受電磁波干擾，低慣量、反應迅速、響應性佳，此優 異特性在精密定位控制上相當重要。因此，當微機電系統(MEMS)成為二十一世紀最具發展潛力之一門科技時，由於尺寸方面的大幅縮小，與製程、組裝和操作上的限制，在感測器和致動器方面需採用不同於傳統的驅動方式，以壓