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EAST真空系统的测量和控制 2006.02.06 1、真空系统对控制系统的要求 远程自动化 分布式控制，集中化管理 高可靠性 抗干扰性 扩展性 控制级：基于现场总线的PLC控制 抽气系统PLC控制柜 粗抽机组电控柜 外真空抽气电控柜 内真空抽气电控柜 内真空抽气管道烘烤电源控制柜 充气系统PLC控制柜 偏滤器系统控制柜 辅助抽气系统控制柜 真空系统控制点预估 700点(730) 真空规（PKR251）： 1*5 5 10 插板阀（CCQ）： 2*25 50 100 低温泵（20K）： 5*2 10 20 涡轮分子泵: 5*10 50 100 真空规（TPR265）: 1*6 6 12 罗茨泵 (ZX-600)： 2*7 14 28 蝶阀（GI）：