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薄膜的结构和缺陷——薄膜的缺陷 薄膜的结构和缺陷——薄膜的缺陷 晶粒间界 薄膜的结构和缺陷——薄膜的缺陷 薄膜的结构和缺陷——薄膜的缺陷 层错缺陷 薄膜的结构和缺陷——薄膜的缺陷 薄膜的结构和缺陷—薄膜结构与组分的分析方法 ★ 薄膜结构与组分的分析方法 表面分析技术是人们为了获取表面的物理、化学等方面的信息而采用的一些实验方法和手段。 Sample Excitation source Signal Detector Event 薄膜的结构和缺陷—薄膜结构与组分的分析方法 薄膜的结构和缺陷—薄膜结构与组分的分析方法 薄膜的结构和缺陷—薄膜结构与组分的分析方法 薄膜的结构和缺陷—薄膜结构与组分的分析方法 X射线衍射技术 薄膜的结构和缺陷—薄膜结构与组分的分析方法 薄膜的结构和缺陷—薄膜结构与组分的分析方法 薄膜的结构和缺陷—薄膜结构与组分的分析方法 薄膜的结构和缺陷—薄膜结构与组分的分析方法 扫描电子显微镜分析 薄膜的结构和缺陷—薄膜结构与组分的分析方法 特征X射线与原子序有如下关系： 薄膜的结构和缺陷—薄膜结构与组分的分析方法 俄歇电子能谱（AES） 1925年P.Auger已经在Welson云室内观察到Auger电子径迹，并正确地解释了这种电子的来源。 尽管当时人们已经认识到它可以成为一种成分分析的手段，但直到六十年代中期，随着超高真空系统和高效的微弱信号电子检测