漫谈微机电系统.doc

漫谈微机电系统 评分项目 得分 论文内容（25%） 论文逻辑（10%） 论文格式（5%） 总 成 绩 作者：学号 913101140218 姓名 蒋赟 漫谈微机电系统 摘要: 微机电系统（MEMS）是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术，是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。它集约了当今科学技术发展的许多尖端成果，在汽车电子、航空航天、信息通讯、生物医学、自动控制、国防军工等领域应用前景广阔。微机电系统的出现和发展是科学创新思维的结果，是微观尺度制造技术的演进与革命。本文主要介绍了微机电系统的发展概况、特点、加工技术及其发展趋势。 关键词：微机电系统，发展现状，未来展望 In MEMS Abstract: Micro-Electro-Mechanical system (MEMS) is a kind of industrial technology which is integrated with the mechanical engineering and micro electronics technology. It is a kind of micro device or system which can be produced in batches, set up micro mechanism, micro sensor, micro actuator, signal processing and control circuit.It has intensified the development of modern science and technology, many cutting-edge results, in the automotive electronics, aerospace, information communication, bio-medical, automatic control, defense and military and other fields, the application prospect is broad.The emergence and development of micro electro mechanical system is the result of scientific and innovative thinking, and it is the evolution and revolution of the micro scale manufacturing technology. This paper mainly introduces the development of micro electro mechanical system, characteristics, processing technology and its development trend. Key words：MEMS , the development, the future 1、引言 随着人类社会全面向信息化迈进，信息系统的微型化、多功能化和智能化是人们不断追求的目标，也是电子整机部门的迫切需求。信息系统的微型化不仅使系统体积大大减小、功能大大提高，同时也使性能、可靠性大幅度上升，功耗和价格却大幅度降低。目前，信息系统的微型化不单是电子系统的微型化，如果相关的非电子系统小不下来，整个系统将难以达到微型化的目标。电子系统可以采用微电子技术达到系统微型化的目标，而对于非电子系统来说，尽管人们已做了很大努力，其微型化程度远远落后于电子系统，这已成为整个系统微型化发展的瓶颈。 MEMS技术设计微电子、微机械、微光学、新型材料、信息与控制，以及物理、化学、生物等多种学科，并集约了当今科学技术的许多高新技术成果。在一个衬底上将传感器、信号处理电路、执行器集成起来，构成微电子机械系统，是人们很早以来的愿望。这个技术在1987年被正式提出，并在近10年来取得了迅速发展。对这一新兴领域，各国的学者使用不同的术语来表述。日本称之为微机械，欧洲叫作微系统，美国称之为微电子机械系统。国内一般称为微电子机械系统或微机电系统。? MEMS具有许多传统传感器无法比拟的优点，具有体积小、功能多、重量轻并且稳定可靠的优点。通过IC等工艺可大批量和高精度生产，单件成本低、性能一致性好